超声扫描显微镜 简称：（SAM/SAT）是利用高频超声波束（15MHZ-300MHZ）对工件内部进行无损扫描成像的检测设备。常用于半导体芯片内部封装检测、金属焊接质量检测、材料内部结构质量分析等领域。

Hiwave-水浸超声扫描显微镜S-300

检测原理：

1:超声波探头产生超声波脉冲、通过耦合介质（如离子水、硅油）等到达被测工件；

2:由于声阻不同，在各种不同物质（杂质、沉淀物、裂纹、空洞、气泡、空洞、分层、虚焊等）等交界面处产生回波和透射波；

3:超声探头接收回波、并转换成电信号；

4:计算机处理电信号、显示此处波形及成像：

超声扫描检测成像过程

超声扫描显微镜的主要功能：

Hiwave-超声扫描显微镜利用高频超声探头，对工件内部缺陷进行扫描成像，支持多种扫描成像模式；A、B、C、T、批量扫描、断层扫描。支持MES系统接入、并对缺陷尺寸面积进行自动统计和计算、可对检测结果自动进行编辑并输出报告文档。

超声扫描显微镜主要功能

检测案例：

一：SOT系列芯片

超声检测现场

超声SAM检测空洞缺陷影像：

（上）C-scan图（下）T-Scan图

二：晶圆

晶圆

晶圆内部超声影像：

晶圆内部超声图像

晶圆内部键合缺陷

三：汽车零部件/水冷板：

汽车水冷板

水冷板焊接质量检测：

水冷板内部影像

水冷板内部焊接缺陷