声学扫描显微镜(Mechanical scanning Acoustic Microscope，简称 SAM) 声学扫描显微镜学名 称作：水浸超声扫描显微。是利用超声波成像技术对材料进行无损检测的成像设备。与光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)都属于显微观察成像设备。

       由于超声波的独特物理特性、超声波具备缺陷敏感性、较好方向性、穿透性、且对人体环境无任何危害。20世纪以来超声成像技术得到了巨大的提升、分辨率、扫描精度达到的较高的检测水准。超声扫描显微镜常被用于IC、半导体、芯片、晶圆等精密零部件内部分层、空洞、气泡、裂缝等缺陷上面。

       国内关于声学显微镜的研究稍晚。最早是由清华大学的研究团队于1983年开展的。由于技术壁垒高，直到近些年我国相关超声扫描成像技术才取得相对较好的表现。不可否认的是较国外品牌设备技术仍有差距。

       1:SONOSCAN（美国）

       自称世界上最先进的超声扫描成像（SAM）设备公司。也是最早踏足研发超声成像技术的企业。

       优点：探头频率高、扫描模式丰富、具备多语言64位能力。硬件软件综合质量第一。

       缺点：相同配置下品牌溢价高、不支持MES系统接入、交货周期长、售后维护困难、成本高。

       2:PVA（德国）

       主要服务欧洲市场、设备硬件运动系统稳定，X、Y轴重复精度高。

       缺点：操作复杂、不支持MES系统接入、无法适配生产线、设备需要提前定制、价格相对较高。

       3：Hiwave(中国）和伍智造营

       国内首家自主研发超声扫描成像等企业、研发总部位于上海闵行区、毗邻上海交通大学、与上海交通大学、浙江大学建立产学研合作关系。有着一支专业等研发团队、近些年随着对国外“卡脖子”技术的不断攻研、对于超声扫描成像方面取得了多项发明专利，其研发的水浸超声扫描显微镜得到了业内的广泛认可、取得了不错的成果及荣誉。

超声探头

       优点：扫描模式丰富、可支持超声A扫描、B扫描、C扫描、T扫描、等多种不同扫描模式。

       分辨率高可达微米级别。设备性能稳定高、检测效率快、支持MES系统接入。同类型工件一件校准处方，同批次产品支持大数据模块化质量分析、售后服务好、2小时快速响应远程服务。价格合理。

       缺点：该品牌常年忙于研发国外各种“卡脖子”技术。如超声扫描显微镜、电感位移传感器、复合材料等、攻坚克严、较为低调、市场知晓率不高。