缺陷检测用超声扫描显微镜有哪些优势?
超声扫描显微镜属于无损检测行业下面比较冷门的检测手段了,尤其是在前有狼(X-ray)后有虎(超声相控阵)的市场环境中,但是近几年凭借其高精度和高效率逐渐出圈了,相比X-ray,它能扫的层级更多,隐藏在工件深层的缺陷也难逃法眼,一次多层扫是它的重要特点之一。无损检测的方式在检测的过程中这种设备可以通过反射或者透射的方式来完成扫描,使得其检测的范围更广,细节更加的深入。比如在对晶圆进行检测的时候,常规的检测方式就很难发现一些空洞和裂缝等问题,但是通过超声扫描则可以将这些问题快速的检测出来,对于提高产品良率有着很大的帮助。
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